单项选择题
检漏仪排气图里FP是（）。
A.前级粗抽泵B.分子泵C.吸枪D.真空计
单项选择题 半导体最大的消费地区是（）。
单项选择题 以下是集成电路制造工序后工序的是（）。
单项选择题 罗茨式干泵是由几个排气腔室排列组成的？（）
