单项选择题 凡金属物，残胶，以及所有外来物，小颗粒，无法以（）PSI的气体或纯水洗掉者。

单项选择题 100X显微镜下，若晶圆压区上硅粉超过压区面积（），REJ。

单项选择题 影响单台设备生产效率的因素很多，主要为有效生产时间和（）。