单项选择题
减薄机无供水时应立即关闭（）。
A.主轴 B.电源 C.真空泵 D.防护门
单项选择题 划片机的报警灯有几种状态（）。
单项选择题 PG3000RMX全自动减薄机可以减薄的晶圆规格（）。
单项选择题 划片时划片机的冷却水和切割水的水流量分别是（）L/Min。
