单项选择题 如果将气体加热至极高温或任其与高能量粒子相撞击，电子可由原分子中释出，形成一带正负电离子的集合体，称爲等离子体或（）。

单项选择题 RF电极与接地间绝缘电阻一般应在（）以上爲佳。

单项选择题 真空中之传动机构（如轴承），必要时可添加（）作爲润滑。