问答题
光刻工艺分为哪些步骤？
1、底膜处理 2、涂胶 3、前烘 4、曝光 5、显影 6、坚膜 7、刻蚀去胶
问答题 从刻蚀工艺上可以将刻蚀分为什么种类？
问答题 化学气象淀积是什么？
问答题 物理气相淀积主要有哪三种技术？
