填空题 对于电容式压力传感器，若采用（）检测方式，将会改善其零点附近工作的线性度，并提高灵敏度。

填空题 通常，压电式加速度传感器的结构几何参数越（），其固有频率越高。

填空题 传感器工作时，相同被测量引起的输出变化量较小的传感器，其（）较低。