填空题 计算杂质的分凝系数时，（）中的杂质原子总数加（）中的杂质原子总数等于掺杂元素的原子总数。

填空题 生长电阻率为10-2欧姆•厘米至10-4欧姆•厘米硅单晶时，硅单晶含杂质多，掺杂量大，一般用（）掺杂。

填空题 以硅为例，若硅的纯度为9个“9”，即1立方厘米中含硅原子的百分数为（），也就是说1立方厘米的硅中含有的杂质占（）PPb。