问答题 定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？

问答题 刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺。

问答题 例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。