问答题
质量输运限制CVD和反应速度限制CVD工艺的区别？
1、质量传输限制淀积速率淀积速率受反应物传输速度限制，即不能提供足够的反应物到衬底表面，速率对温度不敏感（如......
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问答题 名词解释：CVD、LPCVD、PECVD、VPE、BPSG。（将这些名词翻译成中文并做出解释）。
问答题 例举高k介质和低k介质在集成电路工艺中的作用。
问答题 描述CVD反应中的8个步骤。
