判断题 更换靶材或维修时，DC及RF电源需保持开啓之状态。

判断题 溅镀机设备使用之冷冻泵浦是属于储气式帮浦。

判断题 气体分子单位时间内与其他分子的平均碰撞次数称爲平均自由程。