单项选择题
还原硅气相成长的硅纯度可以达到多少?()
A.9NB.10NC.11ND.12N
单项选择题 离子注入机通过什么控制注入SiWafer的深度?()
单项选择题 ULVAC的检漏仪用什么气体检漏?()
单项选择题 下列哪种成膜方法会有来自装原材料的坩埚等容器的污染可能性?()