单项选择题
CVD中干泵进行Purge和Sealing的气体是（）
A.N2 B.CO C.H2 D.CO2
单项选择题 CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）
单项选择题 CVD中起到冷却作用的设备是（）
单项选择题 下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）
