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集成电路工艺原理

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填空题

单晶硅生长常用()和()两种生长方式,生长后的单晶硅被称为()。

【参考答案】

CZ法;区熔法;硅锭

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填空题 用来做芯片的高纯硅被称为(),英文简称(),有时也被称为()。

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