集成电路工艺原理
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单晶硅生长常用()和()两种生长方式,生长后的单晶硅被称为()。
【参考答案】
CZ法;区熔法;硅锭
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填空题
用来做芯片的高纯硅被称为(),英文简称(),有时也被称为()。