判断题
蒸发镀膜设备没有加热装置。
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判断题 涡轮分子泵浦(Turbo pump)必须配置前级泵浦,所以爲储气式。
判断题 Cryo pump(冷冻泵浦)必须定期通入O2做再生之用。
判断题 机械泵浦适用于粗真空范围。