单项选择题
靶中毒现象最容易发生在（）中。
A.中频反应溅射镀膜 B.直流反应溅射镀膜 C.射频反应溅射镀膜 D.以上答案都不对
单项选择题 蒸发高熔点金属（如钽、钨）可采用（）蒸发源。
单项选择题 质流控制器的作用是用来控制制程气体的（）。
单项选择题 离子镀膜的膜层密度（）。
