问答题
掺杂对氧化物生长的影响是什么？
重掺杂的硅要比轻掺杂的氧化速率快。
问答题 举出氧化工艺中掺氯的两个优点。
问答题 列出Si/Si02界面处的4种氧化物电荷。
问答题 如果热生长氧化层厚度为2000A，那么Si消耗多少？
