多项选择题
镀膜基板的输送方法都有（）。
A.单腔类型B.interback类型C.inline类型D.multi-chamber类型
多项选择题 涡轮分子泵的构成包含哪些组件？（）
多项选择题 离子溅射泵的构成包含哪些组件？（）
多项选择题 构成蒸镀装置的要素有（）。
