单项选择题 半导体硅材料制备中产生的硅烷在常温下是一种气体，其分子式为（）。

单项选择题 将硅锭切割成硅片的过程中，多线切割对硅片造成的损伤层的厚度约为（）μm。

单项选择题 光伏电池组件电学特性测试中不必用到的设备是（）。