相关考题
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单项选择题
源漏注入之后,必须进行()工艺,修复晶格损伤,激活杂质。
A.氧化
B.快速热处理
C.退火
D.扩散 -
单项选择题
未进行掺杂的二氧化硅薄膜,通常简写为()。
A.PSG
B.USG
C.BSG
D.FSG -
单项选择题
我们利用LOCOS技术制作MOS中的()。
A.场氧区
B.源、漏
C.栅
D.有源区
