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单项选择题
溅射装置中由溅射材料所组成的电极是（）。
A.治具
B.靶材
C.挡板
D.工件 -
单项选择题
TiN的顔色是（）。
A.金黄色
B.银白色
C.蓝色
D.灰色 -
单项选择题
CVD有（）。
A.开口体系和封闭式沉积法
B.只有开口体系
C.只有封闭式沉积法
D.前面的答案均不对
