问答题
简答题
简述准分子激光蒸镀的工艺特点。
【参考答案】
准分子激光蒸镀与传统的热蒸发和电子束蒸发相比具有许多优点，归纳起来有以下几点。
（1）激光辐照靶面时，而克服了......
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