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填空题
集成电路的特征尺寸是衡量集成电路加工工艺水平和（）的主要指标。
【参考答案】
设计水平
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集成电路的特征尺寸有时也称线宽，通常是指集成电路中半导体器件的（）。
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MOS型集成电路又分为NMOS、PMOS、（）型。
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半导体集成电路是采用半导体工艺技术，在硅基片上制作包括电阻、电容、（）、晶体管等元器件并具有某种电路功能的集成电路。
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