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单项选择题
靶材中杂质和表面氧化物对薄膜（）。
A.无污染
B.有污染
C.可提高纯度
D.可改善质量 -
单项选择题
物理气相沉积的英文简称是（）。
A.CVD
B.PVD
C.SPT
D.DVD -
单项选择题
高于临界温度的气态物质爲（）。
A.蒸气
B.固体
C.气体
D.液体
