问答题
简答题
化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？
【参考答案】
化学机械平坦化（CMP）工作机理：表面材料与磨料发生反应，生成容易去除的表面层；同时表面层通过磨料中的研磨剂和研磨压力与......
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