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单项选择题
以下对PAD清洁方式正确的是（）。
A.有机溶剂、水
B.Airclean、水
C.有机溶剂、PLASMA
D.PLASM、Airclean -
单项选择题
为确保OLBBD状态，需要对BD完成品进行镜检，镜检的项目不包括（）。
A.Miss量
B.粒子数
C.粒子状态
D.POL压痕 -
单项选择题
OLBBonding过程中，清洁Stage的主要目的是（）。
A.防止POL压痕
B.防止保护膜脏污
C.防止POL异物
D.防止POL气泡
