单项选择题
SEM扫描线圈的作用是（）
A.使电子束发生聚焦，并在样品表面实现光栅扫描和角光扫描
B.使电子束发生发散，并在样品表面实现光栅扫描和角光扫描
C.使电子束发生衍射，并在样品表面实现光栅扫描和角光扫描
D.使电子束发生偏转，并在样品表面实现光栅扫描和角光扫描
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A.透射电子束强度
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B.衍射峰变窄
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B.几十纳米
C.几十微米
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