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填空题
电子束流控制包括（）、束流聚焦和（）等三个方面。
【参考答案】
束流强度；束流偏转
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填空题
电子束加工设备昂贵，并需要（）装置。
填空题
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填空题
电子束加工时电子的动能绝大部分转变为（），使材料局部瞬时的快速溶蚀、气化蒸发而去除表层材料，并随真空系统而抽走。
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