相关考题
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单项选择题
为了实现全局平坦化,在集成电路中,经常采用()工艺。
A.反刻
B.CMP
C.SOG
D.高温回流 -
单项选择题
以下工艺中,方块电阻是一个重要的参数,一般用于衡量()工艺中杂质情况。
A.氧化
B.扩散
C.光刻
D.刻蚀 -
单项选择题
在制作MOS管时,采用LOCOS工艺容易出现()。
A.沟道效应
B.鸟嘴效应
C.寄生效用
D.闩锁效应
