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单项选择题

避免侧壁干涉的最小距离dmin 与波长λ及缺陷到检测面距离a 有关,其关系是()。

    A.λ减少、a 增加、dmin 减少
    B.λ减少、a 减少、dmin 增加
    C.λ增加、a 增加、dmin 增加
    D.λ增加、a 增加、dmin 减少

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