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单项选择题
铜互连金属多层布线中，磨料的粒径一般为（）。
A.5~10nm
B.20~30nm
C.50~80nm
D.100~200nm -
单项选择题
在酸性浆料中，最常使用的氧化剂为（）。
A.硝酸
B.硝酸铜
C.硫酸
D.磺酸 -
单项选择题
在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。
A.二氧化锰
B.铝
C.氧化铬
D.金刚石
