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多项选择题
空气污染物按照处理性质来分:有()。
A.酸碱性气体
B.有机性气体
C.特殊毒性气体
D.水蒸汽
E.中性气体 -
多项选择题
净化室里废气收集管系统分为两类,分别是()。
A.一般排气系统
B.特殊排气系统
C.制程排气系统
D.专用排气系统
E.排气排水系统 -
多项选择题
静电释放带来的问题有哪些()。
A.金属电迁移
B.金属尖刺现象
C.芯片产生超过1A的峰值电流
D.栅氧化层击穿
E.吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面
