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单项选择题
一般溅镀使用制程气体爲Ar，下列原因（）是错误的？
A.价格合理
B.易发生反应
C.容易取得
D.撞击能量大 -
单项选择题
（）可以被离子轰击溅射后在基体表面凝结成较均匀的薄膜。
A.水溶液
B.岩石
C.氧气
D.金属 -
单项选择题
如果将气体加热至极高温或任其与高能量粒子相撞击，电子可由原分子中释出，形成一带正负电离子的集合体，称爲等离子体或（）。
A.电弧
B.电晕
C.电浆
D.电流
