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真空度低会导致沉积的金属膜容易发生氧化。 -
判断题
PVD的优点是阶梯覆盖能力强。 -
多项选择题
Endura5500 degas腔的作用为（）。
A.除湿气，增加结合力
B.转向，确保wafer角度一致
C.去除晶圆表面的自然氧化层
D.使晶圆表面温度迅速冷却
