问答题
简答题
扩散间生产流程及返工流程是什么？操作时应注意哪些事项？
【参考答案】
生产流程：开机→对硅片自检→检查石英舟→插片→上浆→运行工艺→卸片→测方块电阻→返工片和碎片处理→流程卡填写
返......
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