问答题
简答题
为什么选用氩气作为放电气体？
【参考答案】
因为氩气的放电电压不高，易于形成稳定的放电，氩气有较大的原子量，这是产生较大的溅射产额所需要的，氩气是惰性气体，不会与靶......
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