问答题
简答题
沉积速率与压力关系如何？
【参考答案】
一般随着放电的压力增高，离子流增大，溅射速率增加，从而沉积速率亦会增大，但放电压力过高，由于背散射增加，溅射粒子易于返回......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
-
问答题
什么是溅射速率？ -
问答题
溅射粒子角分布（方向分布）如何？ -
问答题
为什么溅射产额与离子的入射方向有关？
