问答题
简答题
MEMS工艺与微电子工艺技术有哪些区别。
【参考答案】
MEMS，即微电子机械系统，可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。而微电子工艺是包含在......
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