多项选择题
等离子体增强化学气相沉积中等离子体的作用是()
A.将反应物中的气体分子激活成活性离子,降低反应所需的温度
B.加速反应物在表面的扩散作用(表面迁移),提高成膜速度
C.对于基体及膜层表面具有溅射作用,溅射掉那些结合不牢的粒子,加强了形成的薄膜和基板的附着力
D.等离子体能够降低镀膜气体分子的平均自由程
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A.基板清洁,不能吸附各种气体杂质
B.温度要高
C.真空度高
D.沉积速率低 -
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A.导热系数高,比热容大
B.在同等条件下的磨损量约为粉末冶金刹车材料的1/3-1/7
C.抗疲劳性能优异
D.具有一定的韧性 -
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纤维预制体的制作技术,国内外近年开展了多种研究。纤维预制体的几种基本结构分别是()
A.点状型
B.直线型
C.平面型
D.立体型
