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单项选择题
金刚石晶体在高磨削率方向上，磨削率最低即最不容易磨的晶面是：（）
A.100晶面
B.110晶面
C.101晶面
D.111晶面 -
填空题
光刻加工技术主要是针对集成电路制作中得到（）微细线条所构成的（）微细复杂图形。 -
填空题
立体氮化硼砂轮磨削时采用（）为磨削液，一般不用（）。
