多项选择题
真空系统中进行真空测量的元件通常称为真空计或真空规管，请指出下面哪几种是常用的真空测量元件？（）
A.薄膜真空规
B.皮拉尼真空规
C.热偶真空规
D.电离真空规
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多项选择题
与小平面源相比，点蒸发源具有（）等特点。
A.膜厚分布均匀
B.沉积速率较低
C.薄膜纯度高
D.原料浪费少 -
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PECVD中，等离子体的激励方式有（）。
A.电子回旋共振
B.直流电场
C.微波耦合
D.射频电场 -
多项选择题
不同压力下，气体的流动状态可以分为（）。
A.粘滞流
B.粒子流
C.过渡流
D.分子流
