问答题
简答题
为什么反应溅射沉积速率低？
【参考答案】
在反应溅射时，反应气体会与靶材反应生成化合物，而化合物的溅射率低于原靶材的溅射率。另一方面，化合物的二次电子发射能力强，......
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