问答题
简答题
简述反应离子刻蚀。
【参考答案】
通过活性离子对衬底的物理轰击和化学反应双重作用刻蚀。具有溅射刻蚀和等离子刻蚀两者的优点，同时兼有各向异性和选择性好的优点......
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