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多项选择题
设备维护的基本原则有（）。
A.安全
B.整洁
C.整齐
D.润滑良好 -
多项选择题
划片使用的提篮有哪几种（）。
A.6寸
B.8寸
C.12寸
D.4寸 -
多项选择题
PG300RM全自动减薄机不可减薄的晶圆规格有（）。
A.12
B.8
C.6
D.5
