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单项选择题
选择外延的简称是（）
A.CBE
B.SEG
C.UHV
D.SPE -
单项选择题
SOI的意思是（）
A.汽相外延
B.液相外延
C.分子束外延
D.绝缘层上（外延）硅 -
单项选择题
（）是使硅片上的局部区域达到平坦化。
A.平滑处理
B.部分平坦化
C.局部平坦化
D.全局平坦化
