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问答题

简答题

为什么多晶硅的干法刻蚀要采用氯基气体而不是氟基气体？

    【参考答案】

    不用SF6等F基气体是因为Cl基气体刻蚀多晶硅对下层的栅氧化层有较高的选择比。

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