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单项选择题
激光干涉仪的最小分辩率为()。
A.0.02um
B.0.05um
C.0.08um
D.0.1um -
单项选择题
激光干涉仪的最大移动速度为()。
A.100mm/s
B.200mm/s
C.300mm/s
D.500mm/s -
单项选择题
激光干涉仪的测量精度为()(L:被测量长度)。
A.2×10-7L
B.5×10-7L
C.5×10-8L
D.3×10-8L
