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单项选择题
磁控二极溅射与射频二极溅射相比，具有（）两大特点。
A.低温，高速
B.高温，低速
C.低温，低速
D.高温，高速 -
单项选择题
冷泵的结构分叶片﹑冷凝面﹑（）材料三层，它是利用对气体的低温凝结和低温吸附实现抽气目的。
A.铜
B.活性碳吸附性
C.陶瓷
D.不锈钢 -
单项选择题
罗茨泵转子与泵体，转子与转子之间保持约（）mm间隙，不需油润滑和密封，无摩擦。
A.0.01
B.0.05
C.0.1
D.0.50
