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单项选择题
（）可以通过带电粒子在盛场作用下做运动把粒子进行筛选，挑选出唯一需要注入的离子。
A.离子源
B.磁分析器
C.加速管
D.终端系统 -
单项选择题
利用高温驱动杂质渗透进半导体内，此工序采用的设备是（）
A.扩散炉
B.离子注入机
C.加热平板
D.对流烘箱 -
单项选择题
电子束蒸发中有一个特殊的部件是（）
A.电阻丝
B.电子束
C.电子枪
D.石墨
