问答题
简答题
写出分辨率（R）公式及简述提高分辨率的方法。
【参考答案】
分辨率是将硅片上两个相邻的关键尺寸图形区分开的能力。分辨率是光刻中一个重要的性能指标。
k为工艺因......
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