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问答题

简答题

经过哪些工艺流程可以实现选择“掺杂”?写出工艺流程。

    【参考答案】

    掺杂主要有两种方法,即热扩散和离子注入;
    ①热扩散:高温环境下,由于热运动杂质原子运动到半导体内部形成一定的分......

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